实验室现有各种仪器设备2100多台套，总价值1.01亿元。40万元以上的大型设备51台套，包括：半导体材料与器件测试系统，半导体芯片工艺加工系统，能带和器件光电热仿真模拟系统，单晶金刚石工艺研制平台、飞秒激光微纳加工动力学、激光诱导纳米功能结构电子调控、超分辨近场纳米加工平台系统，半导体器件纳米工艺和封装技术等设备、系统和平台。同时，在本评估期内自主研制了“微区飞秒时间分辨瞬态吸收和超快荧光光谱显微成像系统”、“复杂微细结构激光加工装备”、“金刚石半导体n型高效掺杂微波等离子体CVD”等3套重大仪器。

各大型实验系统、测试平台有专门实验技术队伍管理，保证良好的运行与使用。实验室定期对旧设备进行维护和软件更新，保证其正常运行。在现有设备的基础上结合国际科研技术发展趋势，积极整合和改造。实验室完成拥有自主知识产权的20套新型微波等离子体CVD系统，全固态量子器件物理原理实验系统，高时空分辨瞬态吸收与超快荧光光谱测量系统，飞秒激光微纳加工系统，二次电子发射测量平台、真空放电腔、微波源、矢量网络分析仪参数化脉冲激励系统及放电等离子体调控系统等。为取得科研成果提供了重要支持。

通用仪器设备以实验工艺和测试为主，承担器件加工与制作、结构与性能测试等任务。在实验室内实行开放和共享，为校内外各单位提供服务，通用大型设备使用率达80%，专用大型设备使用率平均达到60%。实验室设备年均开放共享900小时，为国内30余所高校和科研单位提供科研服务。