扫描电子显微镜

仪器名称（中文）：场发射扫描电子显微镜

仪器名称（英文）：Field emission scanning electron microscope (FESEM)

型号：Zeiss-Supra55

厂家：卡尔蔡司公司

购置年份：2014-05-15

性能指标：本仪器为德国Carl Zeiss场发射扫描电镜（FESEM），配备牛津仪器Oxford AZtec X-Max 150 X射线能谱仪（EDS）及Gatan MonoCL4阴极荧光谱仪。

场发射扫描电镜：

1.最高分辨率：0.8nm（15kV）；1.6nm（1kV）；

2.放大倍率：12-1000000；

3.电子光学系统:①加速电压：20V-30kV，连续可调；②灯丝:肖特基场发射电子枪；4.探测器及成像系统:①样品室内ET二次电子探测器:二次电子像;②In-lens镜筒内高效率二次电子探测器：In-lens图像；③集成在物镜底端角度选择背散射电子探测器:成分像。5.样品室真空度：2*10^-4pa。

X射线能谱仪：150mm²大面积分析型SDD探头；Mn Ka优于127eV，谱峰稳定性：1000cps到100000cps，Mn Ka谱峰漂移小于1eV。

阴极荧光谱仪：探测波长范围：185nm-850nm。

原理及应用：场发射扫描电镜及附件主要用于各种材料的形貌和元素分析，并要求对一些容易受电子束损伤的样品在低加速电压下实现高分辨观察，还要求对导电性较差的样品在不喷镀的条件下直接进行高分辨观察。本仪器采用先进的肖特基场发射（SFE）源，内置电子束推进器和In-lens二次电子探测器，具有高效的低电压性能。除了传统的高分辨图像的拍摄外，对一些容易受电子束损伤的样品可在低加速电压下实现高分辨观察。配备的角度选择背散射电子探测器具有极高的平均原子序数分辨能力，可获得高分辨背散射图像拍摄。

本仪器配备了有效面积150mm²的大面积分析型SDD硅漂移电制冷能谱仪，同等条件下能够大大提高能谱仪的信号强度及能谱的空间分辨率，元素分析范围Be4-Cf98，可有效进行成分的定性、定量分析，元素的大面积快速面扫描等。

配备的阴极荧光谱仪（CL）可获得样品的全光、分光图像。

广泛应用于地质学、材料科学、生物学、医学等各领域不含挥发性组分的干燥固体样品的测试。

仪器名称（中文）：钨灯丝扫描电子显微镜

仪器名称（英文）：Scanning electron microscope（SEM）

型号：JSM-6490

厂家：日本JEOL

购置年份：2008-6-17

性能指标：本仪器为日本电子（JEOL）的钨灯丝扫描电镜（SEM），配备牛津仪器Oxford AZtec X-Max 20 X射线能谱仪（EDS）、牛津仪器Oxford AZtec HKL电子背散射衍射仪（EBSD）。

扫描电镜：

 1.最高分辨率:高真空:3.0nm(30kV); 

 2.放大倍数:5~300000;

 3.真空系统:真空度:高真空≤0.1mpa;

 4.电子光学系统:①加速电压:0.5~30kV,连续可调;②灯丝:预对中钨灯丝; 5.探测器及成像系统:①二次电子探测器:二次电子像;②背散射电子探测器:成分像.

X射线能谱仪：127eV Mn Ka。

电子背散射衍射仪：最大图像分辨率：1344*1024，最大角分辨率0.05°。

原理及应用：扫描电镜分析是一种针对固体样品的表面形貌进行的无损分析，电子束照射在样品表面激发出二次电子、背散射电子等，对应形成二次电子图像（形貌相）、背散射图像（成分相）。X射线能谱仪可针对样品进行成分的定性、定量分析，测试范围Be4-U92元素。电子背散射衍射仪可对平整样品进行分析，通过衍射条带进行物相鉴定、取向分析、极图分析等。广泛应用于地质学、材料科学、生物学、医学等各领域不含挥发性组分的干燥固体样品的测试。

分析测试标准及联系方式：https://lamd.nju.edu.cn/fxcssfbz/list.htm