LIU HUAFENG

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发明名称:利用SOI片制作高精度MEMS惯性传感器的方法及重力加速度传感器(PCT国际申请) 发明人:刘骅锋,涂良成,宋萧萧,伍文杰,刘金全,饶康,渠自强,徐小超 申请号:PCT/CN2018/095022 申请日: 2018-07-09
Release time:2019-03-11  Hits: