华中科技大学主页平台管理系统 LIU HUAFENG--英文主页-- 发明名称：一种消除介质层针孔缺陷影响的方法发明人：刘骅锋，涂良成，宋萧萧，王秋，饶康，渠自强，伍文杰，刘金全，范继申请号：201711193289.3 申请日： 2017-11-24

LIU HUAFENG

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发明名称：一种消除介质层针孔缺陷影响的方法发明人：刘骅锋，涂良成，宋萧萧，王秋，饶康，渠自强，伍文杰，刘金全，范继申请号：201711193289.3 申请日： 2017-11-24

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发明名称：一种利用SOI片制作高精度MEMS惯性传感器的方法发明人：刘骅锋，涂良成，宋萧萧，渠自强，伍文杰申请号：201711295820.8 申请日： 2017-12-08
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发明名称：一种微机电加速度计及其制备方法发明人：范继，涂良成，伍文杰，刘金全，徐小超，刘骅锋申请号：201710997592.2 申请日： 2017-10-24