Personal information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
在职信息：在职
所在单位：机械科学与工程学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：工学博士学位
毕业院校：华中科技大学
半导体技术；
计算物理；
MEMS/NEMS系统设计及仿真；
MEMS制造工艺与设备；
半导体工艺设备设计与制造；
半导体材料外延工艺；
Zhiyin Gan.Application of Car-Parrinello Molecular Dynamics to Ga-rich GaN Buffer Layer for Stress Relaxation in GaN Grown Layer.International Journal of Nonlinear Sciences & Numerical Simulation,10(5):557-562
Tingkai Zhang.Study on triple-stack anodic bonding using two electrodes.Sensors and Actuators A: Physical,157(1):168-172
Zhiyin Gan.Getter free vacuum packaging for MEMS.Sensors and Actuators A: Physical,149(1):159-164
Song X. H.First-principles study on effects of mechanical deformation on outer surface reactivity of carbon nanotubes.Physica E,41(4):626-630
Rongjun Zhang.Crystal quality improvement of Gallium Nitride on plane Sapphire by predose method.IEEE:245-246
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