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专利成果

一种δ掺杂的常关型氧化镓基MIS-HMET器件及其制备方法

发布时间：2023-04-03
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专利说明：
杨伟锋，帅浩，张保平
申请号：
202110493226.X
发明人数：
3
是否职务专利：
否

©2023　厦门大学　电子科学与技术学院（国家示范性微电子学院） 功率半导体实验室 版权所有


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