分析测试中心X射线光电子能谱仪（创新港校区）开放测试通知

X射线光电子能谱仪（XPS）是分析测试中心真空互联实验与测试平台主体表征设备之一，由于疫情影响使得真空互联系统调试及正常运行工作暂缓，为满足创新港校区校内师生的XPS测试需求，将于即日起面向校内用户先行开放XPS常规样品测试功能，请大家登录大型仪器物联共享系统进行预约使用（预约设备名称：XPS真空互联系统），并仔细阅读仪器预约使用公告。

仪器介绍：

名称：X射线光电子能谱仪

型号：ThermoFisherESCALAB Xi+

一、主要规格及技术指标

1、X射线源

（1）靶：双阳极Al/Mg靶、单色化Al靶

（2）能量分辨率：0.43 eV/（Ag 3d_5/2）；0.82 eV/（C 1s）

（3）最小分析区域（收谱）20μm

（4）灵敏度： 4Mcps@1.0eV (650μm)； 1.8Mcps@0.6eV (650μm) ；700kcps@0.5eV (650μm)

（5）成像空间分辨率：小于1 μm

2、能量扫描范围及最小步长：

6meV (0~1,500eV)； 12meV (0~3,000eV) 24meV； (0~5,000eV)

3、最大分析面积 8mm

二、主要功能及特色

主要用于化学、材料、能源、电子、机械等领域，可测试粉末、块状、纤维、薄膜等样品；

分析内容包括表面元素组成及化学态定性定量分析、表面元素深度分析、表面元素分布分析等；

能够检测元素周期表中除H和He以外所有的元素；

真空系统性能5×10^–10mbar。

三、样品要求

（1）本仪器不接收易挥发、易吸水、易腐蚀性样品，磁性物质送样时必须告知。

（2）块状样品高度需低于3.8mm，高度在1.5~3.8mm之间时，大小需控制在10mm×10mm以内，高度在1.5mm以下时，大小可稍微增大，尽量控制样品大小越小越好。

备注：目前只开放XPS常规样品测试功能。

管理员：刘佳梅

电话：17791598186

邮箱：liujiamei@xjtu.edu.cn

放置地点：创新港校区18号主楼1035-1037室（接样室1037室）