场发射电子探针显微分析仪（EPMA）试运行通知

西安交通大学大型仪器设备共享实验中心采购的场发射电子探针显微分析仪（EPMA）主要功能已经基本调试完成，计划将于2023年5月4日-2023年5月31日开放试运行，试运行期间半价收费，欢迎各位老师同学预约咨询。

基本介绍：

场发射电子探针显微分析仪(EPMA)主要用于地球科学和材料科学中固体样品表面微区主量元素的准确定量分析，尤其适合超轻元素的定性和定量分析。还可以实现微区的痕量元素分析。

主要技术指标:

1.电子枪：新一代肖特基场发射枪；

2.二次电子像分辨率：优于2.5 nm（30 kV；WD 11mm），

优于20 nm（10 kV @10 nA；WD 11mm）

3.高速和高灵敏度背散射电子探头，可以实现快扫成像。

4.加速电压：不窄于1~30 kV范围（0.1 kV步进）；

5.束流范围：10^-12～3×10^-6A；

6.图像放大倍数：40X～300,000X；

7.5道波谱仪，分析元素范围：4Be～92U；

8.漂移补偿:电子束束斑重复精度：≤0.08 μm，可实现高倍率下的高精度元素面分布图。

主要功能及特色：

1.元素单点、定线、定面的定性分析，分析精度优于能谱；

2.元素定量分析：单点定量分析，多点自动逐点定量分析，沿一条线自动逐点定量分析等。

3.元素定量面分布图

4.面分布图的强度与含量自动转化

样品要求：

1.样品应为固体或者粉末（粉末需包埋或者压成片状），不能有挥发性物质。

2.需在真空和电子束作用下保持化学、物理性质稳定，不易分解。

3.样品尺寸：长宽≤25 mm；高度≤15 mm。

4.样品整体要平坦，待测面需要打磨抛光到镜面标准。

5.不能是强磁性样品，弱磁性样品测试前必须退磁。

6.不导电的样品表面需要喷镀碳膜。

温馨提示：

1.每个用户限制1个样品。

2.试运行期间累计收样100个，先到先得。

3.校内用户请在“大型仪器设备物联共享系统”中搜索“场发射电子探针显微分析仪”申请“送样预约”，预约前详细阅读设备公告。送样预约审批通过后，再将样品送到创新港18号楼副楼18-1020。

4.校外用户请提前3天联系工程师沟通样品详细信息及样品准备方案。

联系人及电话：陈老师（15665110360）郭老师（17792503321）

放置地方：创新港校区18号楼副楼一楼18-1020