聚焦离子束电镜试运行通知

西安交通大学分析测试中心聚焦离子束电镜（Helios 5 UX）的主要功能已经基本调试完成，受疫情影响，能谱、电子束背散射衍射等其他功能还在调试中。为早日满足校内师生的测试需求，本台电镜将于7月4日至22日对校内用户开放试运行，欢迎校内师生预约测试！

一、仪器介绍：

聚焦离子束电镜具有较高分辨率，能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理，可对材料进行微纳米表征、微纳加工和TEM样品定点制备等。该设备可广泛应用于金属材料、半导体材料、复合材料、陶瓷材料等的表面和截面观察。此外，本台电镜上配有能谱仪（EDS），可用于样品表面的成分分析，可进行元素定量、定性分析，多元素面扫描和线扫描分布测量。

二、 设备主要功能配置：

1. 高分辨率电子束

2. 高切割精度离子束

3. 二次电子/背散射探头

4. 气体注入系统：Pt、C、W等

5. 能谱仪EDS

6. 电子背散射衍射仪EBSD

7. TEM自动制样功能

8. 3D重构软件

9. Ar离子清理

10. STEM探测器

三、 主要参数：

1.离子源种类：液态Ga离子源；

2.离子源加速电压：0.5kV - 30 kV

3.束流强度：1pA - 65nA

4.电子束分辨率：0.6nm @ 15kV；0.7nm @ 1kV。

5.交叉点工作距离：4mm。

6.电子束加速电压：1kV－30kV。

7.样品室内径：不小于370mm。

四、温馨提示

1.如有测试需要，请在“大型仪器设备物联共享系统”中搜索“聚焦离子束电镜（Thermo Scientific Helios 5 UX）”进行送样预约，预约前请详细阅读“试运行预约公告”。

2.所有用户需至少提前2天联系工程师沟通样品详细信息及样品准备方案，并按需提前准备样品。

五、联系方式

工程师：张杨

电话：18797335767

邮箱：zhangyang2020@xjtu.edu.cn

存放地：创新港18号楼辅楼一层18-1006