时间：2023年6月25日-27日
地点：西安交通大学（创新港校区）分析测试中心
主讲人：EDAX中国应用专家严琴舫博士
EDAX中国应用专家盛华平博士
邀请人：张杨，马传生
内容摘要：
基于扫描电子显微镜(SEM)的X射线能量色散谱(EDS)和电子背散射电子衍射(EBSD)技术一经问世，便各自显示出了其在材料成分分析和取向物相分析领域的应用前景，迅速将SEM的角色从最开始只可用于形貌观察的“放大镜”转换为集显微观察、成分分析、取向表征和物相鉴定为一体的多功能分析型仪器，几乎已成为现代SEM不可或缺的附件设备。
X射线能量色散谱(EDS)全称X-Ray Energy Dispersive Spectrum/Spectroscopy,是一种用于元素分析和化学表征的分析手段。搭载SEM使用时，该技术通过收集SEM电子束和样品相互作用时发出的X射线进行分析。不同元素由于电子壳层排布不同，发射的X射线谱也具有明显特征，故而可以通过分析该特征X射线谱分辨样品所含的不同成分，进行元素种类的定性分析。而根据探测到的X射线谱的强度，再结合一系列数值修正和理论计算，可以进一步开展元素定量分析。再借助于SEM灵活的电子束扫描方式，可以获得具有高空间分辨率的样品组成信息(图1)。
图1.SEM结合EDS可获得具有高空间分辨率的样品组成信息
背散射电子衍射(EBSD)全称Electron Back Scatter Diffraction,是一种利用衍射电子束来鉴别样品晶体学信息的技术。在SEM中，高能电子束射入表面倾斜(~70o)的样品后，产生背向散射电子，部分角度的背散射电子与表面晶粒满足布拉格条件，发生强烈衍射，从而在收集到的背散射电子图像中出现明显亮于背底的条带。这些条带包含了样品表面晶粒的取向结构信息，利用数学算法(如Hough变换,词典标定,球形标定等)处理，可解析出对应晶粒的取向结构信息。在知道每个位置对应晶体的取向后，可得出样品内晶界(Grain boundary)、相(Phase)、晶粒取向(Orientation)、织构(Texture)及应变(Strain)等多方位的信息(图2)。
图2.EBSD表征可提供样品内多方位的晶体结构信息。
培训安排：
06.25 星期日 |
上午 |
EDS 基础 |
下午 |
EDS 定性定量及软件操作 |
06.26 星期一 |
上午 |
EBSD 基础 |
下午 |
EBSD 采集过程及参数 |
06.27 星期二 |
上午 |
EBSD 数据分析：基本功能 |
下午 |
EBSD 上机演示 |
理论培训：18号楼副楼分析测试中心5楼会议室
上机培训：18号楼副楼分析测试中心1楼18-1006聚焦离子束电镜实验室
报名方式：请将参会人员信息E-mail至：lynn.xu@ametek.com
附上：姓名，单位（学校、学院），省市或地区，手机号，参加培训班日期。
本次培训名额：40人左右，请感兴趣的老师同学尽快发送电子邮件报名参加，先到先得！
