项目研制了基于动态视觉的弱小瑕疵新体制成像系统，提出了基于多模态大模型及大小模型协同的缺陷检测方法，构建了高适应性的柔性系统平台，方便低成本快速部署。项目技术具备缺陷成像能力强、检测模型准确率高、系统部署简便快捷等优势，为半导体晶圆等行业的工业视觉检测提供了一套新方案。