2024年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目——“先进IC制造装备基础前沿”项目指南

近日，基金委工程与材料科学部发布《2024年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目——“先进IC制造装备基础前沿”项目指南》，要点如下：

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面向更小线宽、更高产率、更高良率集成电路（IC）制造的先进装备，体现了材料、制造、工程热物理、电气等领域诸多项尖端技术的高度集成，是全球科技竞争的前沿领域和战略高地。当前，亟需开展装备技术背后的基础前沿问题研究，破解我国相关领域被“卡脖子”困局，为我国先进IC制造装备的自主可控研制提供支撑。

一、资助方向

1. 光学透镜材料深紫外辐照性能退化机理与抗辐照新材料设计。

2. 高性能阻尼材料的振动抑制机理与设计方法。

3. 有机物紫外降解机理与痕量总有机碳检测方法。

4. 纳米颗粒学散射粒径测量与精确计数。

5. 大口径学学元件深紫外波段偏振性能测量方法。

6. 运动台动力学性能及运动稳定机理。

7. 运动台冗余驱动与精密运动的测量和控制方法。

8. 大面积小线宽多层金属线版图设计与零缺陷制造。

9. 局部微小空间内气浴流场温度均匀性设计方法。

10. 极紫外学源靶滴等离子化能量演变机理与碎屑高效输运。

11. 电机与驱动器高精度建模及测试验证回归。

二、资助计划

本原创项目资助期限为2年，申请书中研究期限应填写“2025年1月1日－2026年12月31日”。计划资助10-12项，平均资助强度150万/项。

三、限项要求

1. 申请人同年只能申请 1 项原创项目（含预申请）。

2. 原创项目从预申请开始直到自然科学基金委做出资助与否决定之前，不计入申请和承担总数范围，获资助后计入申请和承担总数范围。

3. 应符合《2024年度国家自然科学基金项目指南》中对申请项目数量的限制。

四、申请时间

预申请提交时间为2024年11月12日－11月13日16:00时。

附件1：2024年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目——“先进IC制造装备基础前沿”项目指南

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校内联系人：耿晓光

联系方式：010-62332207，gengxg@ustb.edu.cn

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