台阶仪

  • 仪器名称：台阶仪

  • 厂商：美国，Bruker

  • 型号：Bruker DekTakXT

  • 购买日期：2017-12-5

  • 放置地点：化学楼B117室

  • 管理员：张盼科

  • 简介：最大扫描长度160 mm 最大样品高度40 mm 垂直扫描范围900 um 垂直分辨率0.1 nm XY移动范围150*150 mm 探针压力0.03-15 mg 单次扫描最大采样点数120000 主要用于测量薄膜材料厚度（2D）和表面形貌（3D），可以精确定量台阶高度、线粗糙度、薄膜曲率半径、应力等几何参数。