电子探针分析仪

仪器名称（中文）：电子探针显微分析仪

仪器名称（英文）：Electron probe microanalyzer (EPMA)

型号：JXA—8100

厂家：日本电子（JEOL）

购置年份：2008-12-17

性能指标：可分析元素范围：4Be~92U,优化条件定量分析最低检测极限可低于100ppm，二次电子图像分辨率为6nm，空间分辨率3nm左右。

原理及应用：具有对试样的化学成分分析及图像分析两大功能。当灯丝发射高压电子束打到试样的表面后，与试样进行相互作用，试样被激发出各种物理信号，根据需求，配置所需探头收集这些信号。

配置特征X-射线探头收集各种元素的特征X-射线，用于电子探针成分分析功能：包括对试样进行某个点的元素定性分析、定量分析，元素在一个方向上含量变化的线分析、元素在两个方向上变化的面分析以及元素特征X-射线扫描分析。

配置二次电子探头和背散射电子探头，用于试样中矿物之间相互关系、赋存状态的二次电子图像、背散射电子图像的观察。

仪器名称（中文）：电子探针显微分析仪

仪器名称（英文）：Electron probe microanalyzer (EPMA)

型号：JXA—8230

厂家：日本电子（JEOL）

购置年份：2019-08-02

性能指标：可分析元素范围：4Be~92U,优化条件定量分析最低检测极限可低于100ppm，二次电子图像分辨率为6nm，空间分辨率可达3nm左右。

原理及应用：电子探针可用于试样的化学成分分析及图像分析两大功能。当灯丝发射高压电子束打到试样的表面后，与试样进行相互作用，试样被激发出各种物理信号，根据需求，配置所需探头收集这些信号。

配置特征X-射线探头收集各种元素的特征X-射线，用于电子探针成分分析功能：包括对试样进行某个点的元素定性分析、定量分析，元素在一个方向上含量变化的线分析、元素在两个方向上变化的面分析以及元素特征X-射线扫描分析。

配置二次电子探头和背散射电子探头，用于试样中矿物之间相互关系、赋存状态的二次电子图像、背散射电子图像的观察。

仪器名称（中文）：场发射-电子探针显微分析仪

仪器名称（英文）：Field emission electron probe microanalyzer（FE--EPMA）

型号：JXA—8530

厂家：日本电子（JEOL）

购置年份：2019-08-02

性能指标：可分析元素范围：4Be~92U,优化条件定量分析最低检测极限可低于100ppm，二次电子图像分辨率为3nm，空间分辨率可达1.8nm。

原理及应用：电子探针可用于试样的化学成分分析及图像分析两大功能。当灯丝发射高压电子束打到试样的表面后，与试样进行相互作用，试样被激发出各种物理信号，根据需求，配置所需探头收集这些信号。

配置特征X-射线探头收集各种元素的特征X-射线，用于电子探针成分分析功能：包括对试样进行某个点的元素定性分析、定量分析，元素在一个方向上含量变化的线分析、元素在两个方向上变化的面分析以及元素特征X-射线扫描分析。

配置二次电子探头和背散射电子探头，用于试样中矿物之间相互关系、赋存状态的二次电子图像、背散射电子图像的观察。

分析测试标准及联系方式：https://lamd.nju.edu.cn/fxcssfbz/list.htm