仪器型号：Sigma300
生产厂家：德国卡尔蔡司公司
工作原理主要技术指标：
在高压作用下，由热阴极发射出的电子经电场聚焦、加速，在栅极与阳极之间形成一个笔尖状的高能电子束，然后经聚光镜（电磁透镜）会聚成极细的电子束聚集在样品表面上，这个高能量细聚焦的电子束在扫描线圈作用下，在样品表面上扫描，与样品相互作用，激发出各种物理信号（二次电子、背散射电子、X射线等）。这些物理信号的强度与样品形貌、成分、结构等有关，可采用ET二次电子探测器、In-Iens二次电子探测器、HDBSD背散射探测器分别对信号进行检测、放大、成像，用于各种微观形貌及成分分析。
分辨率：1.2nm @15kv，2.2nm @1kv（非样品台偏压模式）
放大倍数：10X—1000000X，连续可调
加速电压：20v-30kv，连续可调
样品台移动范围：X=Y=120mm，Z=50mm
主要用途：
广泛应用于物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验。
