近期，第二批国家级一流本科课程公示，我院郝永德老师负责的《基于生产环境的集成电路光刻工艺互动式虚拟仿真实验》入选虚拟仿真实验教学一流课程。

《基于生产环境的集成电路光刻工艺互动式虚拟仿真实验》课程以半导体行业先进企业实际生产环节和光刻设备为蓝本，按照8英寸实际生产线环境的要求，以反相器器件制造过程为案例，对生产环境、生产设备等进行建模仿真，建设微电子集成电路制造关键工艺虚拟仿真实验平台。

集成电路在国民经济各行各业中发挥着非常重要的作用，是现代信息社会的基石。为了解决目前在人才培养过程中集成电路实验设备落后于实际生产设备、实验条件苛刻、存在危险性、实验运行费用大等问题，以及改变高水平实验，特别是研究探索型实验难于开展，教学与实际生产严重脱节，影响了高素质的人才培养的现状。在华中科技大学和学院的大力支持下，学院实验教学中心建设了基于实际生产线的《集成电路制造关键工艺及制程整合虚拟仿真实验平台》。该课程依托此虚拟仿真平台再现集成电路实际生产过程，通过3D虚拟仿真技术还原微电子工艺生产车间，解决了集成电路制造实践教学中的“卡脖子”难题。学生利用平台、借助注解提示信息及透视、显形、互动化的表达方式，可更好地理解设备、各个工艺环节的基本原理和细节的巧妙之处，完成了一次“芯片制程之旅”。通过探究实践掌握了获得“最佳工艺参数”的方法，强化了理论知识在实际生产中的应用，弥补实际生产环境光刻实验教学资源的空缺，提高学生的学习积极性，提升学生的工程实践能力，培养学生的创新精神，为学生从事半导体制造业等工作奠定良好基础。