论文类型：期刊论文
第一作者：何永乐
通讯作者：左都罗
合写作者：何永乐; 高俊; 左都罗; 王新兵
发表刊物：强激光与粒子束
所属单位：武汉光电国家实验室
刊物所在地：中国
文献类型：J
卷号：29
期号：5
页面范围：051002-1-051002-5
ISSN号：1001-4322
发表时间：2017-05-15
摘要：利用发射光谱法测量大气压He-Ar混合气体射频容性放电中的Ar亚稳态1s_5(3s~23p~54s[3/2]_2)粒子数密度。在不同的放电功率和气体组分下测量放电等离子体中的重要参数:气体转动温度、电子激发温度和Ar亚稳态1s_5粒子数密度。结果表明:气体温度在不同放电功率及Ar气压在5*10~3 Pa以内时变化不大,范围为300~350 K;电子激发温度随着放电功率的增加而增加,并且在Ar气压为4*10~3 Pa时最大,在放电功率为70 W时达到0.58 eV;1s_5粒子数密度随着放电功率以及电子激发温度的增加而增加,在放电功率为70 W、Ar气压为4*10~3 Pa时达到1.53*10~9 cm~(-3)。