张海波

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张海波、姜胜林、曾亦可、范茂彦、谢甜甜,发明专利:一种制备硅微悬梁无铅压电厚膜执行器的方法。(申请号:200810047178.6,公开号:CN101323427);
Release time:2020-10-27  Hits: