一种薄膜铌酸锂单偏振波导及其制备方法
- Authorization number:ZL2019112791834
- Authorization Date:2021-05-18
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基于超表面的垂直腔面发射激光器及其制作方法
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基于超表面的单片集成面发射半导体激光器及其制备方法