基于偏振角分辨光谱分析的超薄膜在线测量方法与理论研究
发布时间：2021-04-22
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- 项目来源单位：
- 国家自然科学基金委员会
- 项目来源：
- 国家自然科学基金面上项目
- 学科门类：
- 工学
- 一级学科：
- 机械工程
- 立项时间：
- 2021-01-01
- 计划完成时间：
- 2024-12-31
- 项目批准号：
- 52075206
- 资助额度(万元)：
- 58.0
副研究员（自然科学） 博士生导师 硕士生导师
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