涂良成

个人信息

Personal information

教授     博士生导师     硕士生导师

性别:男

在职信息:在职

所在单位:物理学院

学历:研究生(博士)毕业

学位:理学博士学位

毕业院校:华中科技大学

学科:无线电物理
精密测量物理

017 Ji Fan, Wen-Ting Zhang, Jin-Quan Liu, Wen-Jie Wu, Tao Zhu and Liang-Cheng Tu*, Fabrication of high aspect ratio structure and its releasing for silicon on insulator MEMS/MOEMS device application. J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 14(2015) 024502 (6pages)
发布时间:2019-03-16  点击次数: