个人信息
Personal information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别:男
在职信息:在职
所在单位:物理学院
学历:研究生(博士)毕业
学位:理学博士学位
毕业院校:华中科技大学
学科:无线电物理精密测量物理
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018 Ji Fan, Tao Zhu, Wen-Jie Wu, Shi-Hao Tang, Jin-Quan Liu and Liang-Cheng Tu*, Low temperature photosensitive polyimide based insulating layer formation for microelectromechanical systems applications. Journal of Electronic Materials, 44 (2015) 4891-4897 (7pages)
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下一条:
016 Wen-Jie Wu, Tao Zhu, Jin-Quan Liu, Ji Fan and Liang-Cheng Tu*, Polyimide-Damage-Free, CMOS-Compatible Removal of Polymer Residues from Deep Reactive Ion Etching Passivation. Journal of Electronic Materials, 44 (2015) 991-998 (8pages)