个人信息
Personal information
教授 博士生导师 硕士生导师
性别：男
在职信息：在职
所在单位：物理学院
学历：研究生(博士)毕业
学位：理学博士学位
毕业院校：华中科技大学
学科：无线电物理精密测量物理
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017 Ji Fan, Wen-Ting Zhang, Jin-Quan Liu, Wen-Jie Wu, Tao Zhu and Liang-Cheng Tu*, Fabrication of high aspect ratio structure and its releasing for silicon on insulator MEMS/MOEMS device application. J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 14(2015) 024502 (6pages)
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下一条：
015 Zhu Li, Wen-Jie Wu, Pan-Pan Zheng, Jin-Quan Liu, Ji Fan, and Liang-Cheng Tu*, Novel Capacitive Sensing System Design of a Microelectromechanical Systems Accelerometer for Gravity Measurement Applications. Micromachines, 7 (2016) 167. (15pages)