李政言

科学研究

研究领域:激光次级辐射源

高亮度短波辐射源(极紫外或X射线)在集成电路制造、薄膜材料检测、生命医学成像等领域应用广泛,也是国家集成电路等产业急需的核心技术装备。高功率激光与等离子体相互作用可以产生极紫外辐射、X射线、高能电子等次级辐射,可实现桌面型高亮度短波辐射源。课题组从激光等离子体物理出发,研究高次谐波和激光等离子体尾场等次级辐射机制,实现高亮度、高重频、桌面型极紫外和X射线辐射源,应用于高能量密度物理等离子体诊断、芯片极紫外光刻/检测、亚微米生物样品成像。

具体研究方向:
激光等离子体物理、激光高次谐波、激光等离子体尾场加速、可见光和短波辐射相干成像


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