刘海军

个人信息Personal Information

副教授

硕士生导师

教师拼音名称:liuhaijun

入职时间:2016-10-24

所在单位:机械制造工程系

学历:研究生(博士)毕业

性别:男

学位:工学博士学位

在职信息:在职

毕业院校:大连理工大学

学科:机械设计及理论
机械电子工程
机械工程其他专业
机械制造及其自动化

论文成果

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果

Evaluation of polishing-induced subsurface damage based on residual stress distribution via measured global surface deformation for thinned silicon wafers

点击次数:

DOI码:10.1088/2051-672X/ac1047

发表刊物:Surface Topography: Metrology and Properties

合写作者:Zhou Jing,Tian Xiaoqing,Han Jiang,Chen Shan,Lu Lei

第一作者:Liu Haijun

论文类型:期刊论文

论文编号:035001

卷号:9

期号:3

是否译文:

发表时间:2021-07-07

收录刊物:SCI