2024年11月5日上午9:00，由北京理工大学材料学院先进材料实验中心主办的“材料分析测试技术学堂”第47期——“双束电镜FIB-SEM的基本原理及应用”在5号教学楼501会议室举行。讲座邀请了资深应用工程师李景，围绕双束电镜（FIB-SEM）的基本原理及功能应用进行了详细介绍，学校40余名师生参加了此次讲座。

李景工程师介绍了双束电镜（FIB-SEM）的基本原理及在材料结构表征、三维重构和刻蚀加工等多方面的应用。FIB-SEM将聚焦离子束（FIB）和扫描电子显微镜（SEM）相结合，既能进行高分辨SEM成像，又可以对材料进行定点的截面加工制备、TEM样品制备、三维重构等各种微纳加工。FIB-SEM已经成为材料微纳米尺度研究的重要手段和方法，常用于微纳器件、金属、半导体以及多层膜结构等的分析表征，在材料二维、三维表征分析、材料制备加工方面得到了广泛应用。

FIB-SEM是以离子束于样品相互作用产生溅射进行微纳加工，并且产生各种信号进行成像；利用气体注入系统进行保护层沉积，加工微纳图案，或者进行增强或选择性刻蚀；同时SEM部分可实现高分辨成像，结合能谱（EDS）进行成分元素分析，结合电子背散射衍射（EBSD）进行晶体取向织构分析。李景工程师还使用视频和动画的形式，展开讲解了FIB的多种应用，包括截面制备加工、不同种类TEM样品的制备、STEM探测器的应用、微纳图形加工、立体图形加工、三维重构等等。另外还对FIB-SEM仪器构造和不同的扫描方式及其应用进行了简单讲解，与老师们和同学们就提出的各种问题进行了讨论。

“材料分析测试技术学堂”是实验中心搭建的培养学生科研能力的特色学习平台，自创办以来，已举办四十余期，深受广大师生欢迎。本次学堂讲座收获了很多的反馈好评：“设备很先进，老师也非常专业。深入浅出的讲解让我感到收货颇深。”、“本次讲座中，我详细了解了双束电镜的原理及应用，认识到了其在扫描加工、刻蚀加工等方面的优越性，为我以后的科研实验打下了基础，在未来用到双束电镜时能够更好的认识、很迅速地掌握”、“了解到双束电镜FIB—SEM的基本原理，结构以及应用，同时了解了其应用方面的优缺点和需要注意的点”。

今后，先进材料实验中心将继续面向广大师生需求，举办更加精彩的分析测试技术类培训和讲座，充分发挥公共实验平台在“双一流”建设中的重要作用。